大型液晶玻璃基板搬運機器人 負載：60KG 動態范圍：2300mm 控制柜：DX100 用途：搬運、潔凈室
*1：依據JIS B8432標準 *2：潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下，來確保工件搬運面以上潔凈度。 *3：根據用途、作業形式會有所不同。
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