采用直線電機，使搬運、推送和長度測量系統小型化。
厚度：9mm，質量：130g（行程10mm時）。
***大推力：6N。
重復定位精度：±5μm。
推進測長精度：±10μm。
***高使用頻率：500cpm。

系列	行程（mm）	傳感器 （光學式直線 編碼器）分辨率	推進 瞬時***大推力	重復 定位 精度	推進 測長 精度	***高速度
LAT3F	10, 20, 30, 50	1.25μm	～6N	±5μm	±10μm	400mm/s
LAT3M	50	5μm	～6N	±20μm	±40μm	400mm/s
LAT3	10, 20, 30	30μm	～6N	±90μm	±100μm	400mm/s